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熱式氣體質(zhì)量控制器特征質(zhì)量流量計(jì)

簡要描述：

熱式氣體質(zhì)量控制器特征質(zhì)量流量控制器（Mass Flow Controller 縮寫為 MFC）用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量和控制。它們?cè)诎雽?dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、是有工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空燈多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的作用。其典型的應(yīng)用場(chǎng)合包括：電子工藝設(shè)備，如擴(kuò)散、外延、CVD、氧化、等離子刻蝕、濺射、離子注入；以及鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、微反應(yīng)裝置、混氣

產(chǎn)品時(shí)間：2024-10-15

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詳細(xì)介紹

熱式氣體質(zhì)量控制器特征

工作原理

氣體質(zhì)量流量控制器的精度、堅(jiān)固性及可靠性源于我公司*的傳感器探頭。該密封探頭由兩傳感元件組成──速度傳感器及溫度傳感器，能自動(dòng)校正溫度及壓力變化產(chǎn)生的影響。儀表電路將速度傳感器加熱到高于氣體溫度的一個(gè)常數(shù)值，然后測(cè)量氣體流量的冷卻效果。通過測(cè)量保持恒定溫差所消耗的電功率與氣體的質(zhì)量流量成正比的原理計(jì)算流量。兩傳感器均為標(biāo)準(zhǔn)級(jí)白金電阻溫度探測(cè)器（RTD）。白金RTD 絲纏繞在堅(jiān)固的陶瓷芯軸上，牢固且可靠。整個(gè)傳感器密封在316 不銹鋼包裝殼內(nèi)。

熱式氣體質(zhì)量控制器特征

開機(jī)操作檢查各設(shè)備連接處應(yīng)無泄漏現(xiàn)象，，氣源的溫度和壓力應(yīng)穩(wěn)定，按照產(chǎn)品說明電路連接正確之后通電。

與流量顯示儀連接

開機(jī)操作之后，先將流量顯示儀的閥開關(guān)置到“關(guān)閉”位，將設(shè)定值調(diào)到零，再開氣，待零點(diǎn)穩(wěn)定后，再轉(zhuǎn)到“閥控”位，然后設(shè)定值調(diào)到需要的流量值，則實(shí)際流量值會(huì)跟隨設(shè)定值而變化。

與計(jì)算機(jī)連接

開機(jī)操作之后，通過RS485與計(jì)算機(jī)通訊，之后在計(jì)算機(jī)上將設(shè)定值調(diào)到零，再開氣，待零點(diǎn)穩(wěn)定后，再通過計(jì)算機(jī)將設(shè)定值調(diào)到需要的流量值，則實(shí)際流量值會(huì)跟隨設(shè)定值而變化。